半导体制造

亚微米污染控制

半导体制造

降低您的风险,避免洁净审核失败

用于监测超净半导体环境的污染物控制解决方案

半导体短缺和半导体更小的工艺节点竞争。集成电路(IC)的短缺要求从制造过程中获得更多的产出,因此行业领导者则在竞争更小的工艺节点。这些挑战要求对空气中的颗粒物污染进行监测,以确保产品无风险,产量(产品良率)提升,顺利通过洁净审核。TSI通过我们的高灵敏度粒子计数器提供从纳米粒子到亚微米粒子等完整的环境监测解决方案,满足半导体短缺和更小工艺节点的竞争需求。TSI 10 nm洁净室凝聚核粒子计数器(CPC)和0.1 μm粒子计数器(手持式粒子计数器远程粒子计数器)是满足半导体行业关键需求的最佳组合。

TSI 提供高灵敏度粒子计数器近60 余载,比任何其他粒子计数器公司历史更悠久。 TSI仪器被用于世界各地国家级标准实验室,这些实验室要求卓越的准确性、重复性和可靠性。 绝不妥协于任一制造过程——相信TSI会监测到一切。 

 

可靠,高灵敏度的粒子计数仪器

TSI: 我们检测所有大小粒径的粒子

  • 0.2 µm, 0.3 µm and 0.5 µm 粒径大小颗粒物测量, 您可信赖TSI。TSI AeroTrak+远程粒子计数器和内置泵AeroTrak+远程粒子计数器享有业界最好的5年激光保修。安装简单,内置泵AeroTrak+远程粒子计数器不需要外部真空源。通过以太网或无线连接电源进一步减少了布线和安装开销。

洁净室粒子监测从未如此简单

  • 半导体工具和流程的连续监测。TSI FMS软件(具有OPC UA 客户端/服务端功能),能够无缝集成到多种仪器中,包括TSI AeroTrak便携式粒子计数器、TSI AeroTrak远程粒子计数器环境传感器。TSI仪器能够和业内最佳的TSI FMS软件集成,具有OPC UA客户端/传感器、分布式数据库和热备援功能,为您提供无以伦比的灵活性和可靠性,能够和不同的信息技术系统和软件应用进行通讯、交换数据,并且应用半导体加工洁净室的连续监测信息

  • 在半导体空间进行周期性粒子监测。所有的TSI AeroTrak便携式粒子计数器均可作为单机使用或集成到设施监测系统中方便的进行半导体环境中周期性悬浮粒子监测,实现实时污染物监测。

  • 半导体洁净室分级。所有的TSI AeroTrak便携式粒子计数器均能为您简化和加速洁净室分级过程。使用内置的ISO 14644-1报告,TSI粒子计数仪器具有设置简单和易于使用的特性。

产品视频

纳米粒子在半导体制造中的影响良率。本演示比较了使用TSI AeroTrak 9001 洁净室凝聚核粒子计数器 CPC和0.1 μ m粒子计数器的纳米颗粒检测。

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