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AeroTrak Hochdruckdiffusor 7950

Artikelnr: 7950

Für den Einsatz in der Halbleiterfertigung mit einem AeroTrak® 9001 Reinraum-CPC zur Messung der Partikelkontamination in Hochdruckgassystemen.

Produktdetails

Hochdruckdiffusor, 1-stufig, 2.83 LPM (0.1 CFM)

Leistungsmerkmale & Vorteile

  • Reduziert den Gasdruck von bis zu 8,27 bar (120 psi) auf Atmosphärendruck
  • Für Überwachung und Tests gemäß ISO 8573-3 und SEMI E49.8
  • Kompatibel mit 0.1CFM AeroTrak Partikelzählern 2,83 l/min (sowohl ferngesteuerte als auch tragbare Modelle) und AeroTrak Reinraum-Kondensationspartikelzählern des Modells 9001
  • HEPA-Abluftfilter schützt den Diffusor vor Kontamination beim Trennen von der Druckgasquelle
  • Keine manuelle Einstellung oder Kalibrierung erforderlich
  • Zur Verwendung mit sauberer Trockenluft, Stickstoff (N 2 ) und Argon (Ar)
  • Passiviertes Edelstahlgehäuse ist beständig gegenüber Reinraumchemikalien
  • 2,83 l/min (0,1 cfm) Nennvolumenstrom