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了解颗粒脱落的来源及其对良率的影响对于制定有效的缓解策略至关重要

了解一家全球半导体工具制造商如何克服TEMAZr和CpZr在ZrO₂沉积中的汽化难题。

测试不足可能导致产品质量低下和收入下降。使用TSI粒子计数器可以实现实时污染物检测，支持工艺优化并提高制造效率。

掩膜的表面缺陷检测确保了高质量的光刻工艺。先进的检测系统提高了半导体制造的产量和效率。

水基CPC在使用安全、环保和易获取的蒸馏水的同时，可以为用户提供精确的气体中的粒子浓度。水性CPC可以和粒径谱仪配合使用，定量测量纳米粒子粒径分布和从第三代水基CPC具有许多增强功能 +前所未有的可靠性 + 较低的维护要求 + 可选切割粒径