粒径
在半导体制造中，颗粒物在各种环境和工艺步骤中都至关重要。这些变量以及设备设计可能意味着在任何给定时间点上，关注的颗粒物粒径可能会有几个数量级的变化。粒子检测仪器的设计在粒径检测能力上有所不同，有些仪器的检测范围低至 0.1 µm，而其它仪器则可以低至 2 nm。选择适合您颗粒物检测需求的仪器是在这一领域获取所需数据的基础步骤。
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实现粒径低至 2 nm 粒子检测
为确保关键部件符合最高清洁标准，您需要能够检测粒径低于 10 nm 尘埃粒子解决方案。电子生产环境中颗粒物污染水平的精确数据可以帮助用户做出明智的决策，并积极维护工艺的完整性。
纳米级粒子造成缺陷，降低良率
对零部件清洁度进行精确测试不仅能保障产品性能和完整性，还能支持效率、合规性、创新和可持续发展。随着行业的不断发展，精确的零部件清洁度测试对于支持关键半导体技术的进步至关重要。
不要忽视看不见的颗粒物
TSI 是您实现所有检测粒子范围低至 100 nm、10 nm 和 2 nm解决方案的关键供应商，。我们提供您所需的仪器测量能力，可以防止即使是最小的污染物导致重大缺陷，同时保持非常高的质量标准。零部件清洁度对您的制造工艺（例如洁净室合规性、最终产品质量）具有重大影响，必须加以重视。
粒径
在半导体制造中，颗粒物在各种环境和工艺步骤中都至关重要。这些变量以及设备设计可能意味着在任何给定时间点上，关注的颗粒物粒径可能会有几个数量级的变化。粒子检测仪器的设计在粒径检测能力上有所不同，有些仪器的检测范围低至 0.1 µm，而其它仪器则可以低至 2 nm。选择适合您颗粒物检测需求的仪器是在这一领域获取所需数据的基础步骤。
误计数率
数据准确性对于做出明智的决策至关重要。在粒子检测中，这包括尽量减少“误计数”（即在没有颗粒物的地方显示存在颗粒物）的发生。这被称为粒子检测仪器的“误计数率”……数值越低越好。TSI 提供的仪器误计数率极低，<0.7 个/ft³（空气），确保“误计数”率最小化，从而最大化数据准确性。
流量
更多的测量转化为更好的统计数据，这反过来又有助于更好的决策。在尘埃粒子计数中，较高的仪器流量可以通过两种方式实现更多的颗粒物测量：1)通过将更大体积的空气（从而更多的颗粒物）输送到要计数的仪器中，以及2)通过减少颗粒物在仪器中的扩散损失（即保留气流中的颗粒物以便计数）。通过这两种机制，具有更高流量的仪器可以为您提供关键决策所需的洞察力。
确保无0.3 µm 粒子污染环境的能力
客户案例
确保无0.3 µm 粒子污染环境的能力
客户案例
一家韩国半导体领先企业寻求 TSI 的帮助，希望监测 0.3 µm 粒子水平。TSI 的 AeroTrak™+ 远程粒子计数器提供了解决方案，确保连续监测并达到清洁目标。