粒径
颗粒物在电子制造的不同环境和工艺阶段中起着至关重要的作用。根据设备设计等变量，关注的颗粒物粒径可能会有很大差异，范围为 0.1 µm 至 2 nm。选择适合您检测需求的粒子检测仪器对于在半导体工艺中获得准确数据至关重要。
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高纯气体中的粒子可能导致制造过程中的缺陷和性能问题。由于许多行业需要高纯气体，采用先进的粒子检测技术使制造商能够识别和定量测量气体中影响产品质量的粒子。这些粒子检测系统提供实时颗粒物监测，从而可以采取及时的纠正措施，保持气体纯度并防止污染相关问题。
粒子检测低至 2 nm
我们的尖端技术能够检测和测量低至 2 nm 的尘埃粒子。这种能力使您能够降低风险、提高电子制造工艺的质量，并保持领先地位，推动创新并提高成本效益。
精确监测和控制粒子污染水平
这些监测不仅减少缺陷风险，而且对于确保符合行业标准至关重要。这使您能够采取积极措施，维护半导体生产环境的完整性，从而节省成本。
减少粒子相关缺陷，提高设备产量和质量
通过将 TSI 先进的尘埃粒子检测技术集成到制造过程中，您正在对质量、效率和风险降低进行关键的战略投资。凭借我们在行业数十年的经验以及提供低至 100 nm、10 nm 和 2 nm 的检测解决方案，TSI 是提供您所需检测能力的理想合作伙伴，防止缺陷、故障或失效的同时，维持最高质量标准。
粒径
颗粒物在电子制造的不同环境和工艺阶段中起着至关重要的作用。根据设备设计等变量，关注的颗粒物粒径可能会有很大差异，范围为 0.1 µm 至 2 nm。选择适合您检测需求的粒子检测仪器对于在半导体工艺中获得准确数据至关重要。
误计数率
准确的数据是决策和行动过程的基石。在粒子检测中，尽量减少“误计数”（即在没有颗粒物的地方指示存在颗粒物）至关重要。AeroTrak™ 洁净室凝聚核粒子计数器的误计数率低至 <0.7 个/ft³，通过减少错误检测来确保数据的高准确性。
流量
增加测量次数可以提高统计的稳健性，从而增强决策能力。在尘埃粒子计数中，更高的仪器流量通过传输更多空气体积和颗粒物来实现这一点，同时最大限度地减少仪器内的粒子扩散损失。这些高流量仪器的特性确保了准确的数据采集，为明智的决策过程提供了数据支持。
在洁净室中符合 ISO 14644 标准
合规指南
