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一家韩国半导体领先企业寻求 TSI 的帮助，希望监测 0.3 µm 粒子水平。TSI 的 AeroTrak™+ 远程粒子计数器提供了解决方案，确保连续监测并达到清洁目标。

许多设施选择安装设施监控系统来监测粒子计数和其它环境参数。因为在其具有诸多好处和商业价值。

通过TSI液体源汽化网络研讨会，探索半导体制造的最新进展，说明CVD和ALD工艺的难题，并推出MSP Turbo II™汽化器。

MSP的粒子去除效率（PRE）标准优化了清洁流程，在需要关注时发出警报，避免因污染造成的损失。

水基 AeroTrak®9001型洁净室凝聚核粒子计数器 (CPC) 具有极低的误计率, 能够为客户提供可靠的环境监测和气体处理-保持您的产品安全免受纳米微粒污染。

流速1 CFM (28.3 LPM) 精确度±5% / 粒径范围 0.100 to 10.0 µm

流速 1 CFM (28.3 LPM) - 3.5 CFM (100 LPM) / 通道粒径 0.3 µm to 10 µm,(6)个用户可选通道

流速0.1 CFM (2.83 LPM) 精确度±5%  / 粒径范围 0.3 to 25 µm

流速 0.1 CFM (2.83 LPM) / 粒径范围 0.3 to 25 µm