洁净室监控系统

TSI的设施监测系统（FMS）是一种先进、可靠、用户友好的监测软件套件，经认证的粒子计数监测和其它相关参数监测。它确保符合高可用性数据库和热备故障转移功能。并支持多种输入，如尘埃粒子计数器，温度/湿度和差压传感器，空气流速和其它数字化输入。

具有线性模拟输出的设备，包括AeroTrak™和AeroTrak™+远程粒子计数器和AeroTrak™+ A100便携式粒子计数器，以及AeroTrak™无洁净室凝聚核粒子计数器无缝集成到FMS中。

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在线设备监测系统

访问FMS，无处不在！OPC UA客户机/服务器能够监控粒子数量和其它环境参数，这对于减少浪费、提高产量、提高质量和增加利润具有重要的商业意义 View Product