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RECHERCHE

Fabrication de semi-conducteurs

Réduisez le risque d’échec à un audit
Contrôle de la contamination par la surveillance des environnements semi-conducteurs ultra-propres

AeroTrak PlusLa taille des semi-conducteurs se réduit de plus en plus pour atteindre des valeurs de l’ordre du nanomètre à un chiffre. La surveillance de la contamination par les aérosols est essentielle pour protéger votre environnement de production et minimiser le risque d’échec lors d’un audit de salle blanche. Les compteurs de particules haute sensibilité de TSI permettent des mesures submicroniques et nanométriques, les plus fiables du marché. Les compteurs de particules 0,1 μm et le compteur de particules à condensation (CPC) de 10 nm pour salle blanche de TSI sont conçus pour répondre aux besoins critiques de l'industrie des semi-conducteurs.

TSI est un leader reconnu dans le domaine du comptage de particules à haute sensibilité. Nos instruments sont utilisés dans les laboratoires d’étalonnage nationaux du monde entier qui exigent une précision et une fiabilité sans égal. Ne mettez pas votre processus de fabrication à risque - faites confiance à TSI pour tout détecter.

Des compteurs de particules fiables, à haute sensibilité et performants

  • Mesure 0,1 µm en toute confiance.
    Le compteur de particules remote 1 CFM AeroTrak® 7110 et le compteur de particules portable AeroTrak 9110 sont réputés pour leur précision et leur fiabilité. Ces deux modèles sont couverts par la meilleure garantie laser de 4 ans du marché.
                 
  • Mesure 10 nm comme aucun autre instrument. 
    Les compteurs de particules 0,1 μm ne détectent pas la contamination par les nanoparticules : un CPC (compteur de particules à condensation) est nécessaire. Utilisant l’expérience TSI de la technologie CPC de plusieurs décennie, le compteur de particules à condensation acqueuse AeroTrak 9001 (CPC) est spécialement conçu pour la fabrication ultra-propre de semi-conducteurs, avec un nombre de faux-comptages incroyablement faible, une détection des nanoparticules en temps réel, un fonctionnement de 6 mois en continu et des débits de 0,1 cfm pour détecter les particules dans l'air ou les gaz inertes pressurisés. Voir la video de démonstration ici.

TSI : Nous détectons les particules de toutes tailles

Des mesures de particules de 0,2 µm, 0,3 µm et 0,5 µm sur lesquelles vous pouvez compter. Les compteurs de particules remote AeroTrak+ et les compteurs de particules remote avec pompe AeroTrak+ sont couverts par une garantie laser inégalée de 5 ans. Une installation simple, et aucune pompe de vide nécessaire pour les compteurs de particules remote avec pompe AeroTrak+. La connexion Ethernet ou sans fil réduit le besoin de câblage et les frais d'installation.

La surveillance des particules en salle blanche n'a jamais été aussi facile

  • Surveillance continue des outils et des mini-environnements semi-conducteurs. Le logiciel FMS de TSI (avec la fonctionnalité client/serveur OPC UA) intègre de manière transparente une gamme d'instruments, comprenant les compteurs de particules portables AeroTrak de TSI, les compteurs de particules remote AeroTrak+ de TSI et capteurs environnementaux. Combiné aux fonctionnalités hors pair du logiciel FMS de TSI, telles que client/serveur OPC UA, bases de données enregistrée de manière décentralisée et hot stand-by, TSI offre une flexibilité et une fiabilité inégalées adaptées à différents systèmes informatiques et applications logicielles. Ces systèmes facilitent la communication, l'échange de données et l'utilisation des informations pour surveiller en permanence les événements liés aux particules dans les salles blanches de fabrication de semi-conducteurs.
  • Surveillance périodique des particules dans l'industrie des semi-conducteurs. Tous les compteurs de particules portables AeroTrak de TSI fonctionnent en tant qu’instruments autonomes ou en conjonction avec un système de monitoring. Il est facile d'effectuer une surveillance périodique des particules aérosols et d'identifier rapidement les risques dans votre environnement de semi-conducteurs.

  • Classification des salles blanches pour les semi-conducteurs. Tous les compteurs de particules portables AeroTrak de TSI sont conçus pour simplifier et accélérer le processus de classification des salles blanches. Intégrant l’ISO 14644-1, les compteurs de particules de TSI offrent une interface automatisée pour compléter facilement le processus de classification.

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