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Halbleiterfertigung

Kontaminationskontrolle in ultrareinen Umgebungen

AeroTrak PlusHalbleiter-Strukturen werden immer kleiner, bis hin zu einstelligen Nanometerdimensionen. Die Überwachung der Verunreinigung durch luftgetragene Partikel im Submikrometerbereich ist für eine hohe Produktausbeute unerlässlich. Die hochempfindlichen Luftpartikelzähler von TSI bieten die hochwertigsten Submikron- und Nanopartikelmessungen auf dem Markt. TSI 0.1 μm Luftpartikelzähler und 10 nm-Reinraum-Kondensationspartikelzähler (CPC) sind so konzipiert, dass sie die kritischen Anforderungen der Halbleiterindustrie erfüllen.

TSI ist ein anerkannter Marktführer in der hoch Empfindlichkeits Partikelzählung. Unsere Geräte werden weltweit in nationalen Normungslabors eingesetzt. Gefährden Sie Ihre Fertigungsumgebung nicht mit einer Kontamination im Submikrometerbereich - vertrauen Sie auf TSI, um alles zu erkennen.

ZUVERLÄSSIGE, HOCHEMPFINDLICHE
PARTIKELZÄHLGERÄTE, DIE FUNKTIONIEREN

  • 0,1 µm Messung, der Sie vertrauen können.
    Der AeroTrak 7110 Remote Partikelzähler und der tragbare Partikelzähler AeroTrak 9110 sind robust und zuverlässig. Beide Modelle sind durch eine branchenweit führende 4-Jahres-Garantie für Laser abgedeckt.
                          
  • 10 nm Messung wie kein anderer.
    0,1 μm Instrumente erkennen keine Verunreinigung durch Nanopartikel - Sie benötigen einen CPC. Der wasserbasierte AeroTrak 9001 Reinraum-Kondensationpartikelzähler (CPC) wurde speziell für die ultrareine Fertigung entwickelt, mit unglaublich geringen Fehlzählungen, 6-monatigem Dauerbetrieb und 0,1 cfm Durchflussraten. Schauen Sie sich hier unsere Produktdemo an.

TSI: Wir erkennen alle Partikelgrößen

0,2 µm, 0,3 µm und 0,5 µm Messungen, auf die Sie sich verlassen können. Die AeroTrak+ Remote-Partikelzähler und die AeroTrak+ Remote-Partikelzähler mit Pumpe werden durch eine unübertroffene 5-Jahres-Standardgarantie für Laser unterstützt. Einfache Installation, keine ferngesteuerten Vakuumpumpen erforderlich, wenn die AeroTrak+-Remote Partikelzähler mit Pumpe verwendet werden. Power over Ethernet und eine Drahtlosverbindung reduzieren den Verkabelungs- und Installationsaufwand.

REINRAUM-PARTIKELÜBERWACHUNG WAR NOCH NIE SO EINFACH

  • Kontinuierliche Überwachung von Halbleiterproduktionswerkzeugen und -prozessen. TSI FMS Software (mit OPC UA Client/Server-Funktionalität) integriert nahtlos eine Reihe von Instrumenten, einschließlich der tragbaren TSI AeroTrak Partikelzähler, TSI AeroTrak Remote Partikelzähler und Umweltsensoren. In Kombination mit den erstklassigen Funktionen der TSI FMS Software, einschließlich OPC UA Client/Server, verteilten Datenbanken und Hot Standby, bietet TSI die beispiellose Flexibilität und Zuverlässigkeit für verschiedene IT-Systeme und Softwareanwendungen zur Kommunikation, zum Datenaustausch und zur Nutzung der ausgetauschten Informationen zur kontinuierlichen Überwachung von Reinräumen in der Halbleiterfertigung.
     
  • Perodische Partikelüberwachung im Halbleiterraum. Alle tragbaren TSI AeroTrak Partikelzähler arbeiten als Einzelgeräte oder als Teil eines Anlagenüberwachungssystems zur einfachen periodischen Überwachung von Luftpartikeln in einer Halbleiterproduktionsumgebung zur Echtzeit-Detektion von Verunreinigungen.
     
  • Halbleiter-Reinraumklassifizierung. Alle tragbaren TSI AeroTrak Partikelzähler wurden entwickelt, um den Prozess der Reinraumklassifizierung zu vereinfachen und zu beschleunigen. Mit dem integrierten ISO 14644-1 Reporting sind TSI Partikelzählgeräte einfach einzurichten und zu bedienen.

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