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Explores how Direct Liquid Injection (DLI) systems and Fourier Transform Infrared (FTIR) spectroscopy are used to optimize the delivery of high-k dielectric precursors.

Durchflussrate 2,83 L/min (0,1 CFM)±5% Genauigkeit / Partikelgrößen 0,3 bis 25 µm

*Diese Seite ist leider nur in Englisch verfügbar.*MSP's Qual-Dep™ Reticle Qualification Contamination Standards are specifically designed to meet your exact tool qualification needs, providing reliable solutions for validating and aligning reticle inspection systems to ensure...

Durchflussrate 28,3L/min (1,0 CFM)±5% Genauigkeit / Partikelgrößen 0,100 to 10,0 µm

Poor testing can lead to low product quality and revenue loss. Using TSI particle counters enables real-time contamination detection, supporting process optimization and higher manufacturing efficiency.

Wasserbasierte Partikelzähler (Water-Based Condensation Particle Counters, kurz WCPCs) liefern präzise gemessene Konzentrationen gasgetragener Partikel unter Verwendung von umweltfreundlichem, sicherem und überall verfügbarem destilliertem Wasser. In Verbindung mit einem...

Durchflussrate 1 CFM (28,3 L/min) / Partikelgrößen 0,3 bis 25 μm / Integrierte Pumpe

MSP’s PRE testing solutions bring academic-level precision to fab-floor challenges, enabling engineers to validate cleaning performance with confidence.

Durchflussrate 28,3 L/min (1 CFM) / Partikelgrößen 0,5 bis 25 μm / Integrierte Pumpe

Glass wafers are increasingly used in semiconductor manufacturing. Learn more about the benefits and how MSP can help enhancing inspection systems with precise calibration and contamination standards.