Go Beyond Conventional Particle Sizing

Particle Sizer With Atomization Solution

TSI’s Particle Sizer with Atomization Solution combines controlled aerosolization with advanced particle sizing to provide precise, size-resolved insight into particle size distributions in liquids and gases. From sub-30 nm CMP slurry characterization beyond the typical limits of dynamic light scattering (DLS) to gas and liquid filter testing aligned with ISO 12500-3, SEMI F38, and SEMI C79, the solution supports both R&D and production workflows with data to better understand processes, evaluate performance, and drive process optimization.

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