在韩国有一家全球知名的半导体芯片制造商，以其创新和多样化的产品组合而闻名。 在监控半导体微环境领域面临着严峻的挑战，特别是关注小至0.3微米的颗粒物。 该公司需要验证受控空间的微环境条件, 并确保没有这种大小的颗粒存在。这个微环境是在半导体加工设备中处理晶圆的空间, 包括各种小型洁净区域内部, 如设备前端模块(EFEM), 分拣器, 储存器, 缓冲区, 腔室和传输模块, 但不仅限于传统主洁净车间的大环境。
半导体制造环境中的无尘条件
他们的目标很明确: 他们想在微环境中创造无颗粒物的条件。为了做到这一点，他们正在寻找一种有效的粒子监测解决方案。
2023年, 该公司的评估分析负责人向TSI寻求解决方案, 以满足他们的颗粒物监测需求。TSI的专业技术团队建议客户 David Lee , TSI 资深销售经理向他们推荐 TSI AeroTrak™+ 远程粒子计数器 7301型 在他们的设备运行过程中进行持续性监测。
证事实证明，TSI AeroTrak™+远程粒子计数器7301配套解决方案，改变了韩国半导体公司的游戏规则。它使他们能够持续监测微型环境，并提供有价值的数据来验证内部条件。这个解决方案使帮助客户实现了他们的目标， 确保在他们的微环境中不存在0.3微米的颗粒。
与粒子计数专业知识相互合作
这家芯片制造商选择TSI是因为TSI能够提供全面的专业知识和技术支持，这对于满足客户的特定要求至关重要。评估分析负责人说:“我们需要的合作伙伴不仅是能提供设备，还要能够提供专业知识来解决我们面临的特殊挑战，TSI的经验和技术熟练程度使他们成为我们半导体工厂的理想选择。”与TSI专家的伙伴关系显然对实现预期结果至关重要。
在考虑备选方案时，制造商最初的目标是在EFEM范围内监测更小的颗粒, 小到0.1微米.最后, 他们综合考量TSI专业团队的建议之后, 决定选择0.2微米AeroTrak™+远程粒子计数器作为最具性价比的备选方案, 以有效满足他们的监测要求.
了解更多关于 AeroTrak™+ 远程粒子计数器 7301型 - 点击这里.