Dev-Dep Development Reticle Contamination Standards
Reticle/photomask contamination standards consist of particles deposited on 6 inch reticles with the industry's best particle size and count control. These certified standards for reticle inspection tools are totally customized for each customer.
差分电迁移率分析仪 3081A
差分静电迁移率分析仪(DMA)是用于执行粒径分布测量的SMPS™等粒径谱仪的关键部件。3081A型设计用于在一次扫描中覆盖从10nm到1000nm的 粒径范围。这种新的DMA可以控制使用静电级器3082,就像可以控制任何其他型号DMA一样(参阅型号3083, 3085A,和3086)。TSI DMAs配备了标识标签,以便分级器自动识别安装组件。该硬件自动识别确保数据可靠。
激光气溶胶光谱仪(LAS)3340A
TSI 3340A型激光气溶胶光谱仪是一种光学光谱仪,可测量0.09 µm(90nm)-7.5 µm的粒子粒径分布,具有超高灵敏度、极高分辨率和易用性。仪器可设置100个粒径通道,让用户能够在特定粒径范围内调零或匹配其它仪器的分辨率。仪器被广泛应用于包括确定空气净化器效率、HEPA/ULPA高效过滤器测试、室内/室外空气质量研究和源解析在内的多种不同应用。3340A型激光气溶胶光谱仪在开机开始采样后,可以在一秒内测量出完整的粒径分布。
六喷嘴雾化器 9306
六喷嘴雾化器9306是用来产生用于PIV和LDV测量的种子颗粒浓度高的多分散气溶胶。
油滴发生器 9307
9307型(单喷嘴)Laskin喷嘴油滴发生器能够生成大量适用于PIV或LDV流应用的种子粒子。
静电气溶胶中和器 1090
MSP的1090型静电气溶胶中和器可替代传统放射性中和器,常用于气溶胶测量应用。
选择合适的流量计
气体在不同应用场景下的流速、流量及行为特性。
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