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粒子粒径标准对于校准粒子计数器和表面扫描设备至关重要,它们需要可靠的粒子悬浮液。 每个标准均含有超纯水(UPW)中的固体粒子,确保特定的粒径范围和浓度,以便精确沉积到晶圆和光罩上。这些标准对于校准和监测晶圆及光罩检测系统至关重要。
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