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Für den Einsatz in der Halbleiterfertigung mit einem AeroTrak® 9001 Reinraum-CPC zur Messung der Partikelkontamination in Hochdruckgassystemen.

Die Software arbeitet mit einer Vielzahl von SMPS-Spektrometern (Modell 3034 und Serie 3934/3936) und APS-Spektrometern (Modelle 3310, 3310A, 3320 und 3321) zusammen. Dabei können die Messgeräte mit allen Versionen der Software Aerosol Instrument Manager® von TSI benutzt...

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