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OEM-Massedurchflusssensor, der für O2 mit einer Genauigkeit von ±2% vom Messwert ±0,05 L/min bei 21 °C kalibriert werden kann.

Durchfluss 2,83 LPM (0,1 CFM) / Kanalgrößenoptionen 0,2 bis 25 μm / Integrierte Pumpe

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