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范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：二氧化碳 包括标准配件套件

范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：O2 包括标准配件套件

范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：空气、氧气、氮气 包括标准配件套件

TSI 3340型激光气溶胶粒径谱仪是一种光学光谱仪，可以很方便的测量0.09 µm(90 nm) -7.5 µm粒径范围的粒径分布，并具有超高灵敏度/高分辨率以及易用性。仪器具有100倍可设置粒径通道，用户可以在特定的粒径范围内调零或匹配另一个仪器的分辨率。它被用于许多不同的应用中，例如确定空气滤清器的效率、HEPA/ULPA高效过滤器测试、室内/室外空气质量研究和源分配。仪器开机以后，可以在不到一秒钟的时间内完成完整的粒径分布测量。

Particle Standards are used to produce high-quality calibration standards for calibrating, qualifying, and monitoring the performance of wafer and photomask inspection systems.