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范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：空气，氮气 包括标准配件套件

范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：O2 包括标准配件套件

范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：空气、氧气、氮气 包括标准配件套件

范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：二氧化碳 包括标准配件套件

范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：O2 包括标准配件套件

Particle Standards are used to produce high-quality calibration standards for calibrating, qualifying, and monitoring the performance of wafer and photomask inspection systems.

范围：0-300 l/min。校准：空气、氧气、氮气。连接：3/4英寸管。

范围：0至±30 std l/min 准确度：读数的2% 校准：空气，氮气 包括标准配件套件*氮气是空气校准的校正