AEROTRAK 7955型高压气体扩散器

Product Details

TSI AeroTrak粒子计数器可通过AeroTrak ® 7955型高压气体扩散器 (HPD) 附件测量高压压缩气体系统中颗粒物污染。由于粒子计数器无法对高压气体采样，因此需要HPD附件降低压缩气体的压力，从而实现压缩气体系统洁净度水平的评估。

特点与优势 

• 可将高达 120 psi (8.27 bar) 的气压降压至近大气压
• 符合ISO 8573-3 和 SEMI E49.8 标准限制条件的监测和测试
• 兼容1.0 cfm AeroTrak 粒子计数器（包括远程式和便携式）
• 排气过滤器可在高压气源断开时保护扩散器免受污染
• 包括用于低湿度压缩气体系统的排气注射
• 无需手动调整或校准
• 可使用洁净干燥空气 (CDA)、氮气 (N ₂ ) 和氩气 (Ar)
• 钝化不锈钢外壳可防止洁净室化学品腐蚀
• 额定流量1.0 cfm (28.3 lpm)